En la próxima versión de Windows Embedded CE 6 (la R3), incluirá una versión de Silverlight. Aclaro esto, porque hay que coger la noticia con cuidado.
Va a incluir una maquina de renderizado de XAML (de un subconjunto de Silverlight 2 XAML), para ello debes diseñar la aplicación con Blend / Visual Studio y luego hacer un programa nativo en C++ para poder usar el ejemplo.
Más información: http://blogs.msdn.com/obloch/archive/2009/11/17/xaml2cpp-the-missing-tool-for-silverlight-for-windows-embedded-developers.aspx